Semitron® MPR1000 là một vật liệu kỹ thuật mới, được phát triển cho các ứng dụng bán dẫn và cụ thể hơn để sử dụng trong các ứng dụng trong buông chân không như trong kỹ thuật khắc axit, làm bay hơi hóa học, cấy ion.
Chịu nhiệt tốt
Hàm lượng ion thấp và thoát khí thấp
Tốc độ ăn mòn thấp trong buồng plasma
Khả năng chống ăn mòn, độ bền và tính năng gia công tuyệt vời.
Giải pháp nhựa cho chi phí thấp nhất mà còn cung cấp mức cao nhất của hiệu suất trong buồng.
Vật liệu được phát triển dựa trên ba cơ sở chính:
Sử dụng trong buồng chân không plasma
Thường được sử dụng làm vòng kẹp, vòng có rãnh, đinh vít, đinh gim và đầu ống phun nước
Đinh gim chính giữa, vòng lấy nét, cách điện, tấm lót chân không, miếng lát lót dẫn hướng (vật liệu bán dẫn dùng để chế tạo mạch tích hợp)